OKO變形鏡MMDM 15-37

產品介紹

OKO變形鏡MMDM 15-37是一款直徑為15毫米、由37個執行器控制的微機械薄膜變形鏡。

MMDM 15-37采用金屬薄膜作為鏡面材料，通過微機械加工（MEMS）工藝制成。薄膜的邊緣固定在周圍的框架結構上，下方有控制電極陣列。薄膜一般具有多層結構，包括電介質層、金屬層、氮化硅層等，厚度一般為0.5~10微米。

當在薄膜下方的電極上施加電壓時，電極和薄膜之間產生靜電吸引，導致薄膜發生形變。通過在不同電極上施加不同電壓（即不同的電壓組合），可以使薄膜產生不同的形變，從而實現對波前的動態校正。

OKO變形鏡MMDM（微機械薄膜變形鏡）是采用MEMS工藝制造的靜電驅動連續鏡面變形鏡，具有體積小、重量輕、功耗低、光學質量高、校正范圍大、響應速度快、集成度高等特點，廣泛應用于激光光束控制、腔內激光控制、實時大氣校正、全息、光通信等領域。

體積小巧輕盈：MMDM 15-37體積小巧，重量僅為140克，便于集成到各種光學系統中。

功耗極低：由于僅靠靜電吸引產生形變，驅動電流極小，因此雖然驅動電壓達到上百伏，但消耗的電功率較低。實驗中曾測量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超過1W，MMDM 15-37的功耗同樣可忽略不計。

光學質量高：初始面形RMS偏差小于0.45微米（也有說法為小于9納米，在10毫米孔徑內），表面非常光滑，散射可以忽略不計。能夠很好地擬合波前畸變曲面，對波前畸變進行校正。

大校正范圍：總波前變形高達25微米，可以校正幅度高達3微米的Zernike 3階和5階像差，79通道的MMDM甚至可以糾正所有5階的Zernike像差。

可承載高功率激光：鏡面采用了金屬和金屬介電涂層，可承載功率高達1kW的高能激光。

零遲滯：MMDM 15-37不存在滯環（即hysteresis，又稱滯洄、磁滯效應），形變重復性較好。根據控制電壓和形變之間的定量關系，可以實現鏡面形變的高精度控制，可用于前饋控制系統（無反饋控制）。

產地	荷蘭
光孔形狀	接近圓形。
光孔尺寸	直徑15毫米。
鍍膜材料	金屬或金屬+電介質。
執行器數目	37個。
控制電壓	0~300V。
初始面形RMS偏差	小于0.45微米，也有說法為小于9納米（在10毫米孔徑內），表明其初始面形非常平整，光學質量高。
初始波前畸變	1.5個條紋@633nm，說明其初始波前質量較好。
反射率	在可見光波段大于89%，部分資料提到反射率可優化至更高水平，如99%的1060nm高反膜或550~1000nm（中心波長800nm）反射率98%的超寬帶金屬/電介質膜。
表面缺陷	鏡面中心區域表面缺陷少于2處，確保光束質量不受明顯影響。
變形鏡中心max變形量	10微米，可實現較大幅度的波前校正。
總波前變形范圍	高達25微米，能夠校正幅度較大的波前畸變。
單個執行器max形變量	至少達到1000nm~1300nm，確保每個執行器都能有效貢獻形變。
重量	140克，體積小巧輕盈，便于集成。
厚度	薄膜厚度一般為0.5~10微米，具體取決于技術實現。
功耗	極低，實驗中曾測量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超過1W，MMDM 15-37的功耗同樣可忽略不計。
熱管理	鏡面采用了金屬和金屬介電涂層，可承載功率高達1kW的高能激光，部分資料提到通過特殊設計可承受600W連續激光。
零遲滯	不存在滯環，形變重復性較好，可根據控制電壓和形變之間的定量關系實現高精度控制。

激光系統：MMDM 15-37可用于激光束的動態波前校正，提高激光束的質量和聚焦能力。在激光加工、激光通信等領域有廣泛應用。

望遠鏡系統：在天文望遠鏡中，MMDM 15-37可以校正大氣擾動引起的波前畸變，提高成像分辨率和清晰度。

眼科設備：在眼科自適應光學系統中，MMDM 15-37可用于校正人眼像差，提高視網膜成像質量，為眼科疾病的診斷和治療提供有力支持。

顯示器和成像光學：MMDM 15-37還可用于顯示器和成像光學中的低階光學像差（如散焦、像散、彗差等）的快速動態校正，提高成像質量和顯示效果。