VAT轉移門插件07.0

在半導體生產系統中，大氣轉移門的核心性能指標在于：顆粒激活度與顆粒排放量低，以及快速可靠的啟閉循環。

全新07.0 HV轉移門插件搭載LINVAT技術，將非凡的顆粒性能與優化的可控性完整結合，實現可調節的快速循環周期。

07.0 HV轉移門插件采用LINVAT技術，其設計重點在于優化顆粒性能與高速循環周期。

通過優化多項設計特性，實現了卓絕的顆粒性能表現：板材上的扭力桿確保均勻密封壓縮，全封閉式執行器，免潤滑環境，以及具備可調速曲線的真實L-Motion運動模式，有效避免閉合沖擊。

07.0型卓絕的真實L型運動及可調速特性，源于VAT專有的LINVAT技術。該技術摒棄傳統L型運動中垂直與水平方向分別采用兩個執行器的方案，僅通過單個執行器實現兩步運動。由此形成高度可靠的執行器方案，具備快速、穩定、可調且無沖擊的運動特性。優勢在于：提升設備運行時間并增強可控性。

改進的顆粒性能設計

無油運行環境

卓絕的精細L型運動

均勻的密封壓縮

靈活的D-sub和AMP連接

出彩的顆粒性能

高運行時間

可靠運行

半導體制造：用于晶圓傳輸、真空腔室隔離等關鍵環節，保障生產環境的潔凈度與設備穩定性。

顯示器生產：支持干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）等工藝的真空控制。

科學儀器領域：在科研裝置中實現高精度真空傳輸。

工業真空系統：如真空爐、真空運輸、電池生產等場景的顆粒控制與高效傳輸。