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      KURT J LESKER矩形傳輸閥V70S Series

      產品介紹

      V70S 系列矩形閘閥采用創新的雙氣缸設計,與標準 V74 系列相比,占地面積更小。該閥采用與 V74 相同的 L-Motion 機構,并具有可拆卸的頂蓋,便于閘門密封維護。

      性能特點

      • 可拆卸閥殼蓋
      • 半標準應用(Semi E21-94、Semi E24-92、Semi E21.1-1296)
      • L-motion 連桿和執行器中無彈簧的雙換檔可實現更快、更平穩的驅動,同時降低振動
      • 閥蓋法蘭真空側的防塵密封,幾乎消除顆粒進入波紋管
      • 機械鎖定,因此在閘門行程結束時閥門鎖定到位
      • 焊接波紋管執行器密封
      • 閥蓋法蘭螺栓設計有保持器,以防止螺栓在拆卸時脫落

      可選功能與配件

      可定制尺寸

      各種 O 型圈化合物(Kalrez、Chemraz 等)

      技術參數

      產品尺寸

      產品應用

      等離子蝕刻、CVD、濺射沉積

      太陽能電池板的制造

      半導體加工

      LCD/平板工藝

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