VAT閘閥14.0

產(chǎn)品介紹

14.0 HV閘閥系列專(zhuān)為標(biāo)準(zhǔn)高循環(huán)真空工藝中的可靠隔離而設(shè)計(jì)。該系列滿(mǎn)足耐用性、模塊化和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，特別注重高運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。

14.0 HV閘閥配備專(zhuān)為實(shí)現(xiàn)閘板密封無(wú)摩擦可靠密封而開(kāi)發(fā)的VATLOCK技術(shù)。VATLOCK機(jī)構(gòu)通過(guò)在關(guān)閉端位實(shí)現(xiàn)機(jī)械鎖定，有效防止閥門(mén)故障。

該系列已在數(shù)千個(gè)嚴(yán)苛工藝條件下成功應(yīng)用，其卓絕可靠性經(jīng)受住考驗(yàn)。DN63-400mm（2.5“-16”）規(guī)格已成為高真空隔離領(lǐng)域的行業(yè)標(biāo)桿。

憑借其堅(jiān)固耐用的無(wú)潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，該閥門(mén)完全滿(mǎn)足高真空閘閥的可靠性要求。14.0型專(zhuān)為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設(shè)計(jì)，真正樹(shù)立了行業(yè)標(biāo)桿。

14.0系列提供多種驅(qū)動(dòng)方式與法蘭連接方案，可輕松集成至各類(lèi)真空系統(tǒng)。更配備豐富特殊選項(xiàng)：粗抽口、排氣口、壓力表接口等接口配置，以及多種密封材料方案，確保完整適配不同應(yīng)用場(chǎng)景。

14.0 HV閘閥提供手動(dòng)、氣動(dòng)及帶電磁閥的三位置氣動(dòng)版本，可作為車(chē)載解決方案或用于外部安裝。電磁閥標(biāo)準(zhǔn)電壓為24 VDC，其他電壓可按要求提供。

法蘭連接的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS。可集成帶/不帶水冷功能的客戶(hù)定制法蘭。

可靠、久經(jīng)考驗(yàn)的設(shè)計(jì)

無(wú)需潤(rùn)滑劑

VATLOCK技術(shù)，具備故障安全防護(hù)功能

堅(jiān)固耐用的不銹鋼主體

高循環(huán)設(shè)計(jì)

性能可靠

延長(zhǎng)免維護(hù)周期

低擁有成本

產(chǎn)地	瑞士
尺寸	DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 400（16英寸）
閥體材質(zhì)	不銹鋼
穿管結(jié)構(gòu)	旋轉(zhuǎn)穿管
標(biāo)準(zhǔn)法蘭	ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
壓力范圍	1×10?? mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200)
	1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400)
初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù)	200 000
加熱/冷卻速率	≤ 50 °C/h
安裝位置	任意方向（DN 63 – 350）
	水平方向（DN 400）
電磁閥	24 VDC, 2.5 W（其他規(guī)格可定制）
閥位指示	可視（機(jī)械式）
執(zhí)行機(jī)構(gòu)	三位置氣動(dòng)：雙作用
	手動(dòng)：帶杠桿或手輪
泄漏率	閥體：< 1 × 10?? mbar·l/s
	閥座：< 1 × 10?? mbar·l/s
壓差	閘閥端	≤ 2 bar (DN 63 – 200)
		≤ 1.2 bar (DN 250 – 400)
	開(kāi)啟時(shí)	≤ 30 mbar
溫度	閥體：≤ 150 °C
	氣動(dòng)執(zhí)行器：≤ 50 °C
	手動(dòng)執(zhí)行器：≤ 80 °C
	電磁閥：≤ 50 °C
	位置指示器：≤ 80 °C
材質(zhì)	閥體		AISI 304 (1.4301)
	傳動(dòng)機(jī)構(gòu)		AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301)
			AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034)
密封	閥蓋、閘板：FKM (氟橡膠)
位置指示器：觸點(diǎn)額定值	電壓：≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
	電流：≤ 5 A ≤ 3 A

半導(dǎo)體制造

用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、過(guò)程隔離和真空系統(tǒng)控制，確保晶圓加工過(guò)程中的真空環(huán)境穩(wěn)定性。

兼容高循環(huán)真空工藝，滿(mǎn)足長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間和低購(gòu)置成本需求。

顯示器生產(chǎn)

在干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）、OLED蒸發(fā)等工藝中，提供可靠的真空隔離。

快速響應(yīng)特性減少工藝延遲，提升生產(chǎn)效率。

科研與工業(yè)領(lǐng)域

空間模擬：19.2系列大型閘閥（DN 400-1250 mm）支持超大尺寸真空隔離，壓力達(dá) 1 × 10?¹? mbar。

真空爐與運(yùn)輸：全金屬閥設(shè)計(jì)適應(yīng)惡劣溫度和輻射條件，確保真空系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。