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      KURT J LESKER不銹鋼閘閥SG Series

      產(chǎn)品介紹

      閥門處理半導(dǎo)體和其他加工中的應(yīng)用,常用于將泵和樣品入口鎖與 HV 或 UHV 工作室隔離。

      閥門對(duì)行業(yè)的重要性幾乎與泵一樣重要。我們提供各種尺寸的閥門類型。

      性能特點(diǎn)

      • CF 法蘭(帶銅墊片):在大氣中工作,壓力范圍為 10-11 托,可烘烤至 200°C(移除執(zhí)行器)
      • 通用電拋光不銹鋼
      • 1,100°C 真空釬焊,確保在 HV 和 UHV 壓力下可靠運(yùn)行
      • 在緊湊的設(shè)計(jì)中提供高電導(dǎo)率
      • 無(wú)沖擊運(yùn)行,振動(dòng)小
      • 需要維護(hù)前的 100,000 次循環(huán)服務(wù)
      • 提供手動(dòng)或氣動(dòng)操作
      • 氣動(dòng)閥在斷電或氣壓損失的情況下關(guān)閉或保持關(guān)閉
      • 所有氣動(dòng)5” 法蘭外徑和更大的型號(hào)包含用于位置指示的磁性 REED 開(kāi)關(guān)
      • 氣動(dòng)閥配備 120VAC 電磁操作器,無(wú)需額外費(fèi)用(其他電壓,交流和直流,可根據(jù)要求提供)

      技術(shù)參數(shù)


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      客戶中心
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