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      COHERENT準分子激光器TwinVYPER

      產品介紹

      VYPER 系列激光器是專為準分子激光退火 (ELA) 設計的多光束高功率準分子激光器。高分辨率移動顯示器制造的高質量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS),該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分子激光器制造。

      這些激光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器件。

      性能特點

      • 非常高的UV 功率,可實現高通量應用
      • 能量穩定性,確保高產量
      • EquiSwitch 同步提供低的抖動
      • 激光數據采集可實現過程控制
      • 密封和凈化的光束路徑,可實現穩定的長期運行
      • 用于控制和快速數據采集的以太網接口

      技術參數

      產品尺寸

      產品應用

      準分子激光退火

      脈沖激光沉積

       


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