壓電輔助電機是一種能夠實現大行程(長行程)、高分辨率且高推力的電機。PAM3-6.5和PAM6-13的輸出推力分別為13 N和29 N。另一方面,PAM3-6.5和PAM6-13的位移量分別為6.5 mm和13 mm,分辨率分別在30 nm和25 nm以下。由于體積小巧,僅比名片稍大,因此便于攜帶,使用方法也簡單。驅動時,請使用專用控制器(PAMC-104)及專用軟件。產品附帶專用電纜(2 m)。實現手動位移臺的自動化,邁向更合理、更有效的生產制造場景。小型壓電驅動器,其定位精度小于 30 nm,只需將手動位移臺的微米頭替換為壓電螺釘促動器,即可實現更高精度的位移。
不回撤
定位在斷電后仍可保持
定位精度小于 30 nm
支持手柄操作,也支持軟件操作
軟件可嵌入,支持二次開發
結合數據反饋,可實現自動調整

PAM3-6.5:平板型,3 mm,Min行程 30 nm,安裝部 φ6 柄部
PAM6-13:R型,6.5 mm,Min行程 25 nm,安裝部 φ9.5 柄部
PAMC-104:壓電輔助電機控制器,4軸,RS232C通信
PAM-RC100:壓電輔助電機控制器(遙控器)
PAMC-204:壓電輔助電機控制器,4軸,RS485通信,USB

轉子、螺桿與旋鈕作為一個整體相連,同時與聯動裝置夾緊。當壓電陶瓷材料發生伸展時,聯動裝置 A 和聯動裝置 B 會產生前后移動,利用轉子與聯動裝置之間的摩擦力來實現間歇式前進。若加速度產生的慣性力小于靜摩擦力,則發生旋轉;若大于靜摩擦力,則發生滑動。
多軸位移臺
雙軸鏡架(θ1 軸/θ2 軸)
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產地 |
日本 |
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位移精度 |
< 25 nm |
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Max負載 |
≤ 30 N |
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Max驅動頻率 |
1500 Hz |
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Max速度 |
≥ 1.5 mm/min |
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行程 |
≥ 13 mm |
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安裝接頭螺紋規格 |
M 9×0.5 |
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連接器接口 |
SMB |
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工作溫度 |
10 至 40 ℃ |
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存放溫度 |
5 至 40 ℃ |
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環境濕度 |
10 至 80 %RH(無凝結現象) |
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壽命 |
>10 億次驅動頻率 |
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尺寸 |
61×31×15.1 mm |
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重量 |
50 g |

科學研究、工業用途(顯微鏡掃描、高通量顯微鏡、高分辨率顯微鏡、微操作、生物技術、干涉儀形狀測量、光罩/晶圓定位、測量技術)