VAT控制閥95.3

95.3型控制與隔離閥組合單元將兩種閥門技術(shù)的優(yōu)勢集于一體，構(gòu)筑緊湊型裝置。在95.3系列中，蝶形控制閥作為節(jié)流閥，與角閥（maxDN 50mm/2英寸）或閘閥（DN 63mm/2.5英寸及以上）組合使用，提供卓絕的可控性與密封隔離性能（泄漏率<1×10?? mbar·ls?¹）。此組合設(shè)計的優(yōu)勢在于極小占地面積：僅需單一控制器即可控制兩組閥門，省去安裝獨立閥門時通常所需的額外法蘭與連接件。

集成式32位IC2壓力控制器能快速、精細(xì)且精細(xì)地調(diào)節(jié)蝶板位置，在寬導(dǎo)通范圍內(nèi)提供卓絕的可控性。同一控制器同時控制集成角閥或閘閥的隔離功能。兩閥門運動周期通過單一運動曲線實現(xiàn)同步，確保操作平穩(wěn)并優(yōu)化控制與隔離功能。組合閥甚至能在隔離閥關(guān)閉時將蝶板開啟至設(shè)定角度，從而避免關(guān)閉狀態(tài)下的死體積。

95.3 HV控制與隔離組合閥已在數(shù)千個嚴(yán)苛工藝條件下成功應(yīng)用，其卓絕可靠性已獲得充分驗證。

95.3高壓控制與隔離閥組合單元提供不銹鋼（僅有DN 50及以下）和鋁制版本，尺寸范圍為DN 25-250毫米（1“-10”），配備ISO-KF和ISO-F標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口。可集成客戶定制法蘭。可根據(jù)需求提供多種FFKM/FKM彈性體材料，標(biāo)準(zhǔn)配置為FKM材質(zhì)。

占地面積小

安裝要求低

集成閥門采用單一控制裝置

差壓開啟

所需安裝空間min

融合兩種閥門技術(shù)的優(yōu)勢

安裝簡便

擁有成本低

半導(dǎo)體行業(yè)：

刻蝕機：實現(xiàn)工藝腔室壓力分段控制，可選WF?專用鍍層。

ALD系統(tǒng)：集成快速響應(yīng)閥（小于30ms），實現(xiàn)前驅(qū)體氣體脈沖注入。

離子注入機：提供無磁化材料版本，實現(xiàn)束線真空隔離。

光伏鍍膜系統(tǒng)：優(yōu)化氣體分布，提升鍍膜均勻性。

科研真空裝置：滿足高真空環(huán)境下的準(zhǔn)確控制需求。