VAT擺動(dòng)控制閥65.3

65.3型壓力擺動(dòng)控制閥為下游壓力控制與隔離樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。該系列壓力擺動(dòng)控制閥專為半導(dǎo)體及顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可在寬導(dǎo)電率范圍內(nèi)提供highest級(jí)別的可控性。65.3型壓力擺動(dòng)控制閥配備集成位置控制的電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)增強(qiáng)功能。

驅(qū)動(dòng)控制器具備更強(qiáng)的32位數(shù)據(jù)處理能力，可實(shí)現(xiàn)全新可控性。這意味著擺動(dòng)閥板的每個(gè)位置都能被快速、精細(xì)地控制，從而在極短響應(yīng)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度準(zhǔn)確的下游壓力控制。閥門預(yù)設(shè)的運(yùn)動(dòng)序列可根據(jù)不斷變化的工藝參數(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)整速度與路徑。65.3型壓力擺動(dòng)閥還能有效防止顆粒物釋放。閥板優(yōu)化的阻尼閉合運(yùn)動(dòng)可避免傳統(tǒng)閥門常見的沖擊與振動(dòng)。65.3型壓力擺動(dòng)控制閥閉合過程平順，啟閉動(dòng)作幾乎難以察覺。閥板提供精細(xì)機(jī)械導(dǎo)向，確保往復(fù)運(yùn)動(dòng)中實(shí)現(xiàn)非接觸式氣流控制，并在所有密封運(yùn)動(dòng)區(qū)域達(dá)成均勻密封。

65.3 壓力擺動(dòng)控制閥已在數(shù)百個(gè)苛刻應(yīng)用場(chǎng)景中安裝使用，涵蓋各種工藝條件，充分證明了其卓絕的可靠性和性能表現(xiàn)。65.3 壓力擺動(dòng)控制閥同樣是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。

65.3 壓力擺動(dòng)閥規(guī)格為DN 100-350毫米（4“-14”），采用鋁材或硬質(zhì)陽極氧化鋁制造，配備ISO-F和JIS標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口。可集成定制法蘭或選擇直接安裝方案。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，亦可按需求選用其他材質(zhì)。

控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定PID、上游控制、軟萃取）。控制器上的各類標(biāo)準(zhǔn)接口可通過個(gè)人計(jì)算機(jī)輕松訪問，或連接至過程控制單元（PCU）。專用控制性能分析儀（CPA）軟件能便捷校準(zhǔn)65.3型壓力擺動(dòng)閥，并簡(jiǎn)化維護(hù)計(jì)劃。

快速精細(xì)的保持壓力控制

無沖擊運(yùn)行：無顆粒激活

提升工藝穩(wěn)定性：整體控制流量與壓力

集成32位壓力調(diào)節(jié)器（IC2）及控制性能分析儀（CPA）

“即插即用”改造方案：無需拆卸或?qū)?zhǔn)

卓絕的可靠性、精度與速度

延長(zhǎng)維護(hù)周期

低運(yùn)營成本

半導(dǎo)體制造

刻蝕與清潔工藝：在腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用中，65.3系列閥門可準(zhǔn)確控制初始流導(dǎo)，避免顆粒污染，保障晶圓良率。

化學(xué)氣相沉積（CVD）：通過穩(wěn)定壓力控制，優(yōu)化薄膜沉積均勻性，提升器件性能。

顯示器生產(chǎn)

真空鍍膜工藝：在OLED、LCD等顯示面板的真空鍍膜過程中，閥門的高精度控制確保氣體分布均勻，減少缺陷產(chǎn)生。

其他高性能真空系統(tǒng)

科研實(shí)驗(yàn)：在高能物理研究、真空鍍膜等場(chǎng)景中，閥門的高純度、低粒度特性滿足惡劣工藝條件需求。

太陽能電池板制造：通過準(zhǔn)確控制真空環(huán)境，優(yōu)化電池片生產(chǎn)效率。