ENTEGRIS快速排氣擴散器Chambergard BGN

Chambergard BGN 擴散器使用燒結(jié)鎳過濾器元件快速擴散進入的氣流，使負載鎖定和/或傳輸室以更高的速度填充，而不會產(chǎn)生顆粒干擾或過度湍流。 BGN 擴散器的高保持性鎳元素可去除進入氣體中的亞微米顆粒污染物并迅速排放到大氣中，從而減少晶圓缺陷并縮短循環(huán)時間。 BGN 擴散器旨在滿足平板顯示器和 300 毫米工具客戶的需求，以提升效率、縮短腔室排氣時間并提高產(chǎn)量。 憑借我們的全球基礎(chǔ)設(shè)施，我們可以提供 Chambergard BGN 快速通風擴散器，以滿足您在全球范圍內(nèi)的需求。

燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應(yīng)用中提供良好的性能

設(shè)計能夠從進入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，從而大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中，大限度地減少停機時間