泄壓閥的主要要求是其可靠和準確作用的泄壓觸發器。212 減壓觸發器由高耐用性壓力彈簧驅動,該彈簧設計用于延長使用壽命。觸發器經過校準,可處理 1.2 至 1.5 bar 閥門開口處的壓差。其工作范圍設置在 1×10-8 mbar 和 1.2 bar 之間,氣體流量max.6升/分鐘。
212 系列在各種工藝條件下的數千種苛刻應用中進行了測試,證明了其可靠性。
212 泄壓閥有 DN 16mm (5/8") 可供選擇。閥體由不銹鋼制成。標準法蘭為 ISO-KF。其烘烤溫度≤150°C。
精細保護
快速響應壓力突變,防止系統過壓損壞,保障設備安全運行。
適用于對壓力敏感的精細工藝,如半導體晶圓加工、真空鍍膜等。
成本效益
低擁有成本:長壽命設計減少更換頻率,降低長期維護費用。
高性價比:在同類產品中,其性能與價格平衡出菜,適合大規模工業應用。
兼容性與靈活性
支持多種真空系統配置,可與其他VAT閥門(如閘閥、角閥)協同工作。
模塊化設計便于升級或擴展,適應未來工藝調整需求。

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產地 |
瑞士 |
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觸發壓力與壓差 |
觸發器經過校準,可處理閥門開口處 1.2至1.5 bar 的壓差。 |
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釋放觸發點為 >1.5 bar,即當系統壓力超過此值時,閥門開啟釋放壓力。 |
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工作范圍 |
壓力范圍覆蓋 1×10?³ mbar 至 1.2 bar,適用于從高真空到中等壓力的廣泛場景。 |
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這一特性使其在半導體制造、真空鍍膜等對壓力敏感的工藝中表現優異。 |
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流量與尺寸 |
max氣體流量為 6升/分鐘,滿足小流量精細調節需求。 |
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提供 DN 16mm(5/8") 規格,兼容多種管道系統。 |
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材質與結構 |
閥體采用 不銹鋼 制造,耐腐蝕、耐高溫,適應苛刻工業環境。 |
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標準法蘭為 ISO-KF,便于與現有真空系統集成。 |
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壽命與可靠性 |
觸發器由高耐用性壓力彈簧驅動,經校準后壽命顯著延長,減少維護頻率。 |
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在數千種苛刻工藝條件下通過長期測試,證明其穩定性與可靠性。 |
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烘烤溫度 |
支持 ≤150°C 的烘烤溫度,適應高溫消毒或工藝需求。 |

半導體制造
在晶圓加工、光刻、蝕刻等環節中,維持真空腔室壓力穩定,避免污染或工藝偏差。
真空鍍膜
控制鍍膜過程中的氣體壓力,確保薄膜均勻性,提升產品良率。
太陽能電池板生產
在真空干燥、層壓等步驟中,防止壓力波動導致電池板缺陷。
工業研究
實驗室真空系統中,為高精度實驗提供可靠的壓力保障。