SIOS激光干涉儀SP 5000 NG

高精度和可靠的結(jié)果對(duì)于導(dǎo)軌、測(cè)量平臺(tái)、顯微鏡和定位平臺(tái)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和機(jī)床以及多坐標(biāo)測(cè)量的長(zhǎng)度測(cè)量和校準(zhǔn)至關(guān)重要。我們的通用型 SP 5000 NG 激光干涉儀是您進(jìn)行高精度長(zhǎng)度測(cè)量的解決方案，并可隨時(shí)為您的新測(cè)量項(xiàng)目添加產(chǎn)品系列中的其他組件。SP 5000 NG 干涉儀結(jié)構(gòu)緊湊，操作簡(jiǎn)單，調(diào)整快速方便。它能在不同的環(huán)境和工作條件下提供高精度的測(cè)量結(jié)果。使用內(nèi)置傳感器，干涉儀可以輕松、快速、準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)。這意味著可以避免由于傳感器對(duì)準(zhǔn)不正確而造成的誤差。干涉儀還提供真空版本。激光干涉儀的設(shè)計(jì)既緊湊又堅(jiān)固，其外殼具有防濺功能，光纖電纜可以包覆，以防止機(jī)械損傷。

用于高精度長(zhǎng)度測(cè)量的激光干涉測(cè)量系統(tǒng)

靈活的長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)，精度高

集成光束方向檢測(cè)功能，易于操作和調(diào)整

可使用各種光學(xué)反射鏡，例如三面鏡、球面鏡、平面鏡反射鏡

測(cè)量反射鏡的允許傾斜度可達(dá) ± 22.5°

結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)固耐用

傳感器外殼具有防水濺保護(hù)裝置

可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

廣泛的觸發(fā)選項(xiàng)

可選接口擴(kuò)展了應(yīng)用范圍

傳感器頭可選擇鋁質(zhì)、不銹鋼或英鋼制成

可提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本

可根據(jù)要求提供其他接口 (/R)

產(chǎn)地：德國(guó)

測(cè)量范圍：0 至 ≥ 5 m

分辨率：5 pm

Max允許傾斜角度

反射鏡中支點(diǎn)：±12.5°

平面鏡反射器：±430 µrad

穩(wěn)定條件下的測(cè)量不確定性 長(zhǎng)度測(cè)量：0.15 µm/m

波長(zhǎng)：632.8 nm

氦氖激光器的頻率穩(wěn)定性（磨合時(shí)間后）：2·10^-8

氦氖激光器的磨合時(shí)間：10 至 20 分鐘

工作溫度范圍：15 至 30 ℃

Max位移速度：3 m/s

帶調(diào)節(jié)接頭的傳感器頭尺寸（寬x深x高）：133 x 91 x 54 mm

反射鏡尺寸：Ø 15 x 15 mm

標(biāo)準(zhǔn)電子供電和評(píng)估裝置尺寸（寬x深x高）：450 x 400 x 150毫米

緊湊型電子供電和評(píng)估裝置尺寸（寬x深x高）：250 x 400 x 150毫米

傳感器頭 調(diào)整接頭重量：650 g

反射器重量：8 g

電子評(píng)估和供應(yīng)裝置重量 AE（標(biāo)準(zhǔn)）：約 8 kg

電子評(píng)估和供應(yīng)單元重量 AE（緊湊型）：約 5.7 kg

標(biāo)準(zhǔn)接口：RS232C、USB

傳感器頭和電子單元之間的電纜長(zhǎng)度：3 米，可選 10 米

電源：100 至 240 vac / 47 至 63 Hz

符合 EN 60825-1:2014 和 ANSI Z136.1 (CDRH) 標(biāo)準(zhǔn)的激光防護(hù)等級(jí)：2M II

導(dǎo)軌、測(cè)量平臺(tái)、顯微鏡、定位平臺(tái)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、機(jī)床、多坐標(biāo)測(cè)量的長(zhǎng)度測(cè)量和校準(zhǔn)