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      WASCO真空傳感器Barracuda

      產品介紹

      Wasco的Barracuda系列高純度(UHP)傳感器專為在苛刻的市場應用中需要檢測腐蝕性介質的應用而設計。這些傳感器非常適合檢測氣體或液體介質,而不會對過程介質造成污染。該系列非常適合要求在高精度、嚴格公差應用中檢測腐蝕性介質的系統。

      性能特點

      我們為下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境設計了這些傳感器。梭魚系列的額定應用周期超過10,000,000。梭魚擁有滿足或超過SEMI F20 (UHP)的材料,臨界點蝕溫度性能> 35℃。所有傳感器都經過氦泄漏測試,達到每SEMI F1≤1 x 10-9標準立方厘米/秒氦。

      技術參數

      產品尺寸

      產品應用

      煤氣箱

      IGS氣體面板

      氣體分配系統

      閥門歧管箱

      蝕刻和沉積系統


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