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      NUMERIK JENA光柵尺LIK21 vac

      產品介紹

      LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。自帶2場EPIFLEX讀數模塊,也適用于惡劣的應用環境。

      性能特點

       

      • 真空版LIK 21,外殼版本1
      • 帶EPIFLEX讀數模塊(2場掃描)
      • 光柵尺部件滿足真空度達10 E-9 mbar(UHV)的氣壓要求
      • 支持150 °C時12小時的加熱周期
      • 1 Vpp或RS 422輸出信號
      • 多達100倍的細分信號
      • 最小測量步距僅50 nm
      • 運動速度達10 m/s(1 Vpp)

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