MSG聚焦與跟蹤系統(tǒng)LAF5-CH

品　　牌：MSG
型　　號(hào)：LAF5-CH
技術(shù)資料： MSG聚焦與跟蹤系統(tǒng)LAF5-CH.pdf
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產(chǎn)品介紹

結(jié)合了工業(yè)顯微鏡和AOI系統(tǒng)的線激光和基于圖像的自動(dòng)聚焦和跟蹤。MSG圖像自動(dòng)聚焦作為一個(gè)跟蹤聚焦，而不像典型的對(duì)比度圖像聚焦。通過(guò)根據(jù)表面自動(dòng)選擇聚焦方法，獲得更加穩(wěn)健的聚焦結(jié)果。

控制接口步進(jìn)/伺服電機(jī)。適用于放大2倍至100倍的校正透鏡，VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和軟件庫(kù)。

性能特點(diǎn)

我們的技術(shù)能夠自動(dòng)聚焦于：

具有高對(duì)比度變化的圖案表面
具有高倍率透鏡的更小結(jié)構(gòu)
折射率變化的材料，如夾層/分層基材

3種不同的操作模式。

具有高速和高工作范圍的激光自動(dòng)聚焦模式
圖像自動(dòng)對(duì)焦模式可提高精度

混合自動(dòng)聚焦模式，可智能選擇激光或圖像聚焦，以?xún)?yōu)化速度和精度，幾乎消除激光壞點(diǎn)問(wèn)題，同時(shí)仍能準(zhǔn)確跟蹤

該系統(tǒng)具有完整的Z軸閉環(huán)系統(tǒng)，帶有傳感器和電機(jī)控制。它帶有一個(gè)軟件界面，便于設(shè)置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機(jī)參數(shù)。易于集成到現(xiàn)有軟件架構(gòu)中。

技術(shù)參數(shù)

	參考APO計(jì)劃無(wú)限顯微鏡物鏡（示例）
放大倍數(shù)	5x	10x	20x	50x	100x
DOF	14µm	3.5µm	1.6µm	0.9µm	0.6µm
采樣率激光器	max.5kHz
采樣率視頻	250幀/秒，MAX，連續(xù)
工作范圍激光	±12000µm	±4000µm	±1500µm	±500µm	±150µm
工作范圍視頻	±5000µm	±1000µm	±400µm	±100µm	±20µm
精度*	激光模式：0.5鏡頭自由度，視頻0.25鏡頭自由度
激光	二極管激光器660nm，IIIR類(lèi)<2mW，前置透鏡
工作溫度	+5°C至+50°C
光束形狀	45°傾斜激光線
傳感器+電纜重量			400g
接口重量			400g
推薦BS			50/50
激光AF周期時(shí)間			0.1s		自動(dòng)跟蹤
圖像AF周期時(shí)間			0.4s		自動(dòng)跟蹤
混合AF循環(huán)時(shí)間			0.2s		自動(dòng)跟蹤
電源	In	僅+12V DC傳感器，24-48V，帶控制器LAF-C
可選距離輸出	模擬	0-10V和-10+10V，通過(guò)RS232
信號(hào)質(zhì)量輸出	模擬	0-10V，通過(guò)RS232
通信	數(shù)字	RS232
激光器開(kāi)/關(guān)	In	TTL	&通過(guò)RS232
照相機(jī)同步	In	TTL
*所有數(shù)據(jù)均指激光用普通玻璃的測(cè)量值和視頻用標(biāo)準(zhǔn)圖案

MSG聚焦與跟蹤系統(tǒng)LAF5-CH

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