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      HEIMANN SENSOR真空傳感器HVS v ac04

      • 品  牌:HEIMANN SENSOR
      • 型  號:HVS v ac04
      • 技術資料:
      • 閱讀次數:3214

      產品介紹

      HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術的新型創新傳感器芯片。硅批處理技術可實現小型化和低成本大批量生產。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標準測量范圍擴展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼(Pirani)型傳感器,基于薄微機械膜上的加熱電阻器結構,傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。

      詳細參數

      參數

      HVS Vac03g

      HVS Vac03k

      HVS Vac04

      單位

      外殼

      TO8

      TO39

      TO39(單個)

      TO8(雙)

       

      芯片尺寸

      5.2x5.2

      4.0x4.0

      1.2x1.2

      mm2

      傳感器電阻RP(典型值)

      8.5

      8.5

      1

      kOhm

      片上參考電阻RK(典型值)

      8.5

      8.5

      1

      kOhm

      電源電壓U0 (max.)

       

      3.5

       

      3.2

       

      4(1..1000 mbar)

      2(p <1 mbar)

      volt

      工作溫度

      -20..120

      °C

      儲存溫度

      -40..120

      °C

       


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