堡盟 U300 超聲波傳感器，精準適配光刻機晶圓檢測

在半導(dǎo)體制造中，光刻機負責(zé)將電路圖案刻在晶圓上，而晶圓在工序中傳輸時，精準定位與精確計數(shù)是流程的關(guān)鍵。研發(fā)手動光刻機時，廠商面臨多重挑戰(zhàn)，晶圓存于傳輸盒需逐層拾取，要確保每層單張避免疊加。設(shè)備底部安裝空間狹小，底層晶圓距傳感器僅約 20 毫米，常規(guī)傳感器因盲區(qū)無法檢測。同時，還需在保證檢測精度與成本的同時，實現(xiàn)數(shù)據(jù)實時采集和設(shè)備預(yù)防性維護，以保障光刻機穩(wěn)定高效運行。

堡盟U300：小身材大能量的破局之道

堡盟U300超聲波傳感器被安裝于晶圓蛋糕盒底部，通過聲錐自下而上掃描每層晶圓，實現(xiàn)兩大關(guān)鍵功能：

距離檢測定位：精準測量晶圓位置，確保拾取路徑準確；

計數(shù)管理：通過層數(shù)信號反饋，避免多片拾取或漏檢。

優(yōu)勢一：緊湊設(shè)計+超短盲區(qū)，狹小空間的“量身定制”

一體式緊湊外殼，盲區(qū)僅 15mm(市場同類產(chǎn)品難以達到)，完美適配 20mm 近距檢測場景；

底部安裝不占用額外空間，契合手動光刻機的結(jié)構(gòu)限制。

優(yōu)勢二：靈活可調(diào)+經(jīng)濟高效，性價比拉滿

感應(yīng)距離15-500mm可調(diào)，適配不同規(guī)格晶圓蛋糕盒；

0-10V模擬量輸出，兼具經(jīng)濟型價格與穩(wěn)定性能，適配研發(fā)及小批量生產(chǎn)需求。

優(yōu)勢三：數(shù)字化接口+智能維護，未來工廠的 “提前布局”

集成IO-LINK接口，實時采集過程數(shù)據(jù)與診斷信息；

搭配堡盟免費BSS軟件，實現(xiàn)預(yù)防性維護，降低停機風(fēng)險。

3U300亮點解析

U300超聲波傳感器具備多項核心優(yōu)勢，在技術(shù)上有諸多亮點。

支持聲錐可調(diào)，擁有深錐、中等、寬錐三種模式，能夠適配不同尺寸晶圓的檢測需求，抗干擾能力強。

傳感器集成了動態(tài)平均與干擾濾波器，可減少環(huán)境噪聲影響，使測量更加穩(wěn)定。其內(nèi)置數(shù)據(jù)處理功能，能減輕PLC計算負擔(dān)，提升系統(tǒng)響應(yīng)效率。

此外，500mm的測量范圍為同類產(chǎn)品中最大，可適應(yīng)多樣化產(chǎn)線設(shè)計。

在半導(dǎo)體制造向納米級精度邁進的今天，傳感器作為 “工業(yè)神經(jīng)” 的作用愈發(fā)關(guān)鍵。堡盟U300以毫米級的檢測精度、靈活的適配能力，成為光刻機晶圓傳輸環(huán)節(jié)的 “隱形守護者”，為中國半導(dǎo)體研發(fā)與生產(chǎn)注入精密動力。